半導体デバイスのコーナーモデリングを実施するに当たり、そのコーナー情報はどのように決定されていますか?
弊社”MOSTAT”については、これまでモーデックNews創刊号、Vol.10およびVol.15でもご紹介いたしましたが、本号では特にコーナーターゲット計算機能についてご紹介いたします。
弊社MOSTATは、ターゲットベース・アプローチに基づいた統計解析モデリングの手法を開発・採用しております。前回のVol.15ではその特長の一つとして、Nominalデバイス選定についてご紹介いたしましたが、コーナーモデリングを行う際のコーナー情報を算出するコーナーターゲット計算機能につきましても、重要な特長の一つになっております。
コーナーモデリングの手法について考えると、最も直接的な方法として、大量のロット、ウエハ、チップから大量のパラメータ抽出を行い、そのデータベースからコーナーに相当するモデルを選択するという方法がありますが、工数的にも現実的とは言えません。
そこで弊社では、製造プロセス時に蓄えられるプロセス管理データに着目することで、現実的な工数でかつ、高精度なコーナーモデリングを実現いたしました。
しかしながら、プロセス管理データをそのまま利用してコーナーモデルのスキューイングを行うと、場合によっては矛盾が生じてしまいます。従って、そのデータの中から基幹となる物理パラメータを選択し、そのパラメータと強い相関を持つパラメータについては、その相関を維持しながら統計的モデル化をして、コーナーモデルのスキューイングに必要なコーナー情報を算出いたします。
このようにMOSTATには、長年のデバイスモデリング及び統計解析モデリングの研究開発における技術が導入されており、高精度でありながらしかも効率よく簡単に、コーナーモデリングができるという優れた特長を兼ね備えております。
この機会に是非、MOSTATの導入をご検討下さい。