全方位プローバーの概要
DUTに対してあらゆる方向から針(プローブ)が接触でき、3次元デバイスのDC、RF測定の作業効率化に貢献します。
- SIPインターポーザーの表裏間端子のDC、RF測定をしたい
- メモリーパッケージの表裏間端子のDC、RF測定をしたい
- 部品内蔵基板の表裏間端子のDC、RF測定をしたい
このようなDUTの表裏間のDC、RF測定を測定したいが、装置のセットアップが分からない。といったお悩みをすべて全方位プローバーが解決いたします。
製品の主な特徴

プローブ接触イメージ
製作協力:エスアイ技研(代表:小磯 直也)



使用例・測定例

TSVのRF測定例~20GHz
4インチウエハ

RF測定例~20GHz
5mm×10mm

周波数100MHz~20GHz
校正
通常の校正基板を使用しての校正。既存の資産を活用できます。
- 校正手法:SLOT,LRM
- プローブを表面位置で校正し、プローブを90°または180°回転し測定位置へ(表裏校正基板もカスタム製作可能)
- 校正基板を常時搭載可能
- サンプルとの入替え無しに、いつでも校正可能
- 校正基板を2枚同時搭載可能(例:ポート間でプローブピッチが異なる校正用)
測定対象の保持方法



特注で、ご希望のサイズ、形状対応いたします。