Vol.31 MOSTAT Pro(歩留まり向上統計解析ツール)のご案内

2009.03.25

”MOSTATに新しい仲間が現れました!!”

弊社統計解析モデリングツールのMOSTATはご存じの方も多いと思いますが、そのMOSTATに”MOSTAT Pro”という新しい仲間が現れました。
”Pro”はProcessを意味し、統計解析手法を駆使してプロセスの最適化を行い、歩留まり向上に貢献するためのツールです。
ですのでモデリングとは関係ございません。

”MOSTAT Pro”の主な特長といたしまして、
◆歩留まりを悪化させているプロセスステップ、さらにはそのプロセス
パラメータの自動特定
◆公差(プロセス条件振り)ロットの各ステップにおけるプロセスパラメータから
量産時のプロセスパラメータのばらつきや歩留まりを予測

が挙げられます。当然、市販ツールに含まれます特性と膜厚、寸法の相関解析やトレンドチャート、号機層別等の基本機能も含まれます。また、お客様のプロセスにあわせたカスタマイズにも対応可能です。

オリジナル機能を挙げますと、

  1. 歩留まりに対する感度の高いプロセスパラメータの自動抽出
  2. 電気的特性パラメータとプロセスパラメータのばらつきを統計的に予測し、最適なプロセス条件を自動抽出
  3. プロセスパラメータを変更した際に影響を受ける電気的特性パラメータの定量的抽出

があり、エンジニアによらず同じばらつき予測や統計解析が短時間で実行可能なツールとして開発しております。

歩留まりに対する感度の高いプロセスパラメータを漏れなく自動抽出したい、量産時のプロセスパラメータばらつきを予測し、安定した量産歩留まりを実現したい、エンジニアの工数が足りなく、プロセスパラメータのばらつき予測や統計解析に時間を割けないといったお客様は、是非この”MOSTAT Pro”の導入を検討されてみてはいかがでしょうか?