2008.04.24

”またまた画期的な機能が追加されました!!!”

弊社”MOSTAT”については、その豊富な機能に関してこれまでもモーデックNewsで何度かご紹介しておりますが、本号ではその最新機能ついてご紹介いたします。

名付けて、「MOSTATグローバルジェネレーション機能」!

この機能は、意図的にプロセス条件を振ってテストされた少ないロット数、ウエハー数のデータベースを基に、そのプロセスの長期的なばらつきを予想し、統計解析に使用するための十分な数の測定データを作り出すというものです。

本来デバイスの正確なばらつきは、長期間に渡り大量のテストを行うことで得ることができますが,開発中のプロセスであったり、他品種少量の製品プロセスの場合には不可能となります。
弊社では、長期的なプロセスばらつきを意図的にプロセス条件を振ることで起こりうるワースト、コーナーケースをあらかじめ作り出すことが、多くの場合可能になると考えました。

しかしながら、プロセス条件を振った場合のばらつき分布は各プロセス条件でピークを持つため、そのままでは統計解析に使用することができません。
そこで登場するのが「MOSTATのグローバルジェネレーション機能」です。
この機能を使用することで、いくつかのピークを持つばらつき分布から正規分布を予測し、その正規分布になるようなばらつきデータを統計解析に必要な数だけ発生させます。

さらに優れた特長は、各パラメータの相関関係に代表されるような統計情報についても保持されたばらつきデータが得られることです。
このことは、正確な統計解析モデルを構築するための非常に重要な条件となります。

このようにMOSTATのグローバルジェネレーション機能を使用することで、短期間に、また少数ロットであっても高精度の統計解析モデルを実現することが可能になります。
したがって、新規プロセスには当然のことながら、既存のプロセスにおいてもその導入効果は大きいものと期待されます。

この機会に是非、MOSTATの導入をご検討下さい。