半導体デバイスのパラメータ抽出を実施するに当たり、そのNominalデバイスの選定はどのように行っていますか？
弊社”MOSTAT”については、これまでモーデックNews創刊号およびVol.10でも紹介いたしましたが、本号では特に
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○ Nominalデバイス・ターゲティング機能 ○についてご紹介いたします。
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弊社MOSTATは、ターゲットベース・アプローチに基づいた統計解析モデリングの手法を採用しております。
したがってその大きな特長の一つは、Nominalデバイスを選定するなどのターゲティング機能にあります。
一般的にNominalデバイスを選定する場合は、製造プロセス時に蓄えられるプロセス管理データを利用することが多いですが、開発途上のプロセスなどは十分なデータベースを得ることができないため、精度的な問題が生じます。
MOSTATは、T-CADを使用したシミュレーションデータや故意にプロセス条件を振って得られるプロセス管理データも含めて解析することができるため、より高精度にNominalデバイスを決定することが可能です。
またターゲティングを行う際、プロセス管理データをそのまま使用するわけではありません。
そのデータの中から基幹となる物理パラメータを選択し、そのパラメータと強い相関を持つパラメータについては、回帰解析で得られた回帰関数を使用するという手法を採用しております。これにより物理パラメータと従属パラメータ間に矛盾が生じなくなるため、より現実的なターゲットを探すことができます。
このようにMOSTATには、長年のデバイスモデリング及び統計解析モデリングの研究開発における技術が導入されており、高精度でありながらしかも簡単にNominalデバイスを決定することができる、という優れた特長を兼ね備えております。
この機会に是非、MOSTATの導入をご検討下さい！