2007.09.27

T-CADによるデバイスの特性化解析とモデル開発のご紹介

モーデック社ではフロリダ大学が開発したプロセス・デバイスシミュレーターFLOODS/FLOOPS(FLorida Object Oriented Device and Process Simulator)をT-CADツールとして使用しております。

FLOODS/FLOOPSはSOIプロセスにも対応し、サーモダイナミックシミュレーション(Full Thermodynamic device simulation)も可能なプロセス・デバイスシミュレーターです。

弊社ではこのシミュレーターを使用して、実際のデバイスでは直接評価することが難しいデバイス内部の動きをシミュレーションし、その結果をデバイスのキャラクタラゼーションや新しいコンパクト(SPICE用)モデルの開発に活用しています。
最近の使用例としては、デバイスの自己発熱効果に関するものがあります。
その際、サーモダイナミックシミュレーションを使用してMOSトランジスターの内部や、複数接続時の温度上昇温度の時間による変化、サイズやSTI 等の素子分離方法の違いによる温度の違い、さらにはそれによる電圧電流特性などを解析しました。
実際のデバイスでは、シリコン内部の温度を直接評価することは大変難しいことですので、このような手法を併用することで、デバイス物性、電気特性をより深く知ることができ、コンパクトモデルの研究開発に大きく役立ちます。
これらの結果は、現在執筆中の国際学会論文誌などで公開される予定となっております。
また当ニュースでもお伝えできればと思いますので、今後の動向をご注目ください。